功能配置 | 技术参数 |
型号 | ZC-XDL450 |
外型尺寸 | L1200*W920*H1690(mm) |
重量 | 650kg |
控制 | PLC+触摸屏 |
真空腔内尺寸 | L450*W400*H450(mm) |
真空腔材质 | 不秀刚 |
电极板材质 | 专用铝电极 |
电极板结够 | 水平8层 |
真空泵系统 | 两级油旋片真空泵/罗茨真空泵组 |
真空测定系统 | 皮拉尼电阻真空计 |
气体测量系统 | 高精密质量流量计 |
等离子发声器 | 高精密0-1000W等离子发声器 |
工作真空度 | 10-100pa |
真空泵极限压力 | 5*10-1pa |
抽真空时间 | ≤100s |
破真空时间 | ≤30s |
气体控制范围 | 质量流量0-500sCM(可自选) |
射频电源 | 0-1000W(范围内可调) |
操作模式 | 人工取放,一键全自动操作 |
电源 | 三相380V |
总功率 | 4.5KW |
报警 | 菜单+声光报警 |